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도서간략정보

반도체공정

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판매가격 17,000원
저자 김학동
도서종류 국내도서
출판사 도서출판 홍릉
발행언어 한국어
발행일 2008-01
페이지수 267
ISBN 9788972836605
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  • 반도체공정
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    도서 상세설명

    Ⅰ.반도체 기초
    1.반도체의 개념
    2.기초물질
    3.반도체 물리
    4.재료의 결정 구조
    Ⅱ.반도체 소자
    1.반도체의 발전
    2.다이오드
    3.트랜지스터
    4.반도체 소자의 작용
    Ⅲ.반도체 재료
    1.단결정 성장 방법
    2.결정 성장 실즙
    3.반도체 원/부자재
    Ⅳ.반도체 공정
    1.기본 요소 기술
    2.반도체 공정의 개요
    3.반도체 공정의 실제
    4.반도체 제조 라인
    Ⅴ.반도체 공정 실습
    1.회로 설계 실습
    2.마스크 제작 실습
    3.웨이퍼 가공 실습
    4.초기 웨이퍼 세정 실습
    5.공정 중 웨이퍼 세정 실습
    6.회전 도포 실습
    7.진공 탈수 베이크 실습
    8.소프트 베이크 실습
    9.포토마스크 세정 실습
    10.마스크 정렬과 노광 실습
    11.PR 현상 실습
    12.하드 베이크 실습
    13.실리콘 식각 실습
    14.확산 실습
    15.산화 실습
    16.스퍼터링 실습
    17.알루미늄 식각 실습
    18.진공 증착 실습
    19.알루미늄 어닐링 실습
    20.전기 전도율과 저항 측정 실습
    21.두께 측정 실습
    22.웨이퍼 전도 형태 측정
    단원종합문제
    Ⅵ.반도체 응용
    1.메모리 반도체
    2.램(RAM)의 동작 원리
    3.비메모리 반도체
    4.반도체 소자 관련 주의사항
    인용 및 참고 문헌
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    부 록
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